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近日，2009年辽宁省科技进步奖评选结果揭晓，共有270项科技成果获得奖励。其中一等奖25项，二等奖90项，三等奖155项。由新松公司研究开发的洁净机器人项目荣获辽宁省科技进步一等奖，这是新松公司成立十年来首次获此殊荣。
随着科学技术的飞速发展和机器人技术的进步，机器人的用途越来越广，工业机器人已经从传统的工业领域逐步进入到军事工业、航天、半导体工业和生物医药等领域。很多现代工业产品生产要求精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性，因此在产品的生产中要求有一个洁净的生产环境。洁净生产环境就是对空气中的微粒、有害气体、微生物进行控制，以满足产品生产的需要；对温度、湿度、压力等参数按产品生产要求进行控制。环境的洁净度将对产品的性能、安全性和成品率产生重大的影响，洁净度的高低直接影响着产品的合格率。洁净技术便是按照产品生产对洁净生产环境中的污染物的控制要求、控制方法以及控制设施的日益严格而不断发展。发展能在洁净空间下工作的特殊机器人及传输生产线系统将具有广阔的市场和空间。因而研究用于洁净生产环境下机器人是十分有意义而且是必要的。
洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。该项目的科技人员经过几年的艰苦努力和不断探索，借鉴国外在洁净机器人领域的开发经验和技术基础，通过本项目的实施，开发出了能在超净间完成各项任务的洁净机器人系列产品及洁净自动化装备。主要包括大气机械手、洁净镀膜机械手和洁净机械手码垛包装线等。主要应用领域为IC装备、平板显示（FPD）、电子、生物制药和食品等行业。
新松公司开发出的具有自主知识产权的洁净机器人技术和系列产品，使我国在洁净机器人方面取得重大突破，打破了半导体制造装备的关键部件依赖于进口的局面，提升了我国在自动化技术及装备的研究开发水平和创新能力，提高了同国外同类产品抗衡的能力和配套能力，促进了我国信息产业的发展；同时进一步增强了辽宁省和沈阳市装备制造的实力，为我国的洁净机器人及洁净自动化装备在未来国际上半导体行业自动化装备的激烈竞争中占据一席之地奠定基础 。
目前新松公司开发的洁净机器人已经初步实现产业化，在洁净镀膜，电子元器件加工等洁净行业实现了大量应用，为公司创造了巨大的经济效益；另外在纤维、洁净包装纸、半导体等行业的应用也逐步增加。
