大气机械手广泛用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂采用先进的结构加强了手臂的刚性，并有效抑制振动，轻量化设计满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降低成本，提升市场竞争力。材料、加工以及表面处理多方面优选，以实现高洁净度。具有多重安全保护功能。肘部和腕部灵活控制，使得机器人可以采用任意姿势来取放晶圆，更节省空间，适应性更强。是半导体行业的优势之选。
柱坐标型/SCARA型
晶圆
φ200mm/φ300mm
≤0.5kg
3
505mm
960mm
340°
645mm
400mm/s
180°/s
<0.8s
±0.1mm (3σ)
±0.01°(3σ)
±0.1mm (3σ)
ISO CLASS 4
90kg
VAC 220V±10
618mm
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