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11月24日，沈阳市科技振兴奖和沈阳市科技进步奖正式揭晓。新松公司自主研发的洁净机器人荣获了沈阳市科技进步一等奖。沈阳市科技振兴奖和沈阳市科技进步奖，是沈阳市政府设立的两个最高科技奖项。
大气机器人（由于是在超净间内使用因此又称洁净机器人）是在大气环境下用于半导体加工行业在超净间里负责不同制成间物料搬运的自动化设备，具有运动速度快，定位（重复定位）精度高，结构紧凑，安全可靠，安装和维修方便等特点，可广泛应用于刻属机，离子注入机和PECVD等IC装备中硅片的传输，是IC装备中普遍采用的高精度，高可靠性的自动化装备。
为提成我国先进制造业的技术水平，新松公司于2002年立项开发了洁净机器人。经过工程技术人员几年的努力，攻克了高速，高精度和高可靠性的控制技术和洁净环境下的运动件润滑技术及通过机械手对晶圆盒内晶圆状态检测技术等多项技术难题。在这些技术的积累下，设计开发的洁净镀膜机械手应用于我国第一条激光打印机感光光导鼓镀膜生产线，取得显著的经济效益和社会效益。
截止到目前，新松公司开发的用于半导体行业的洁净机器人取得突破性进展，随着市场的进一步推广，必将成为新的经济增长点，为我国半导体产业的发展奠定坚实的制造业基础，未我国信息产业的发展提供可靠的技术支撑。
