新松重装参展第一届IC WORLD

关键字导读: 新松 IC WORLD

描述:首届世界集成电路大会(简称“IC WORLD”)于10月22日至24日在北京亦庄国际会展中心隆重举行。北京市人民政府、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、京东方集团、联想集团等领头羊企业齐聚一堂,共同展望全球集成电路产业的未来。

首届世界集成电路大会(简称“IC WORLD”)于10月22日至24日在北京亦庄国际会展中心隆重举行。北京市人民政府、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、京东方集团、联想集团等领头羊企业齐聚一堂,共同展望全球集成电路产业的未来。

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本次大会是集成电路产业链成果展示的盛会,更是产业同仁学习交流的盛会。新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)作为一家致力于全智能产品及服务的高科技上市企业,中国机器人产业的翘楚和工业4.0的践行者和推动者,重装参展IC WORLD盛会,助力集成电路产业宣传。新松公司重点业务涵盖核心零部件、机器人和正常自动化解决方案。2018年新松整合了IC装备业务,成立了半导体装备BG,并收购韩国新盛(SHINSUNG FA)。完全拥有自主知识产权和核心技术,技术水平国内领先,达到国际先进水平。

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洁净(真空)机器人及半导体装备作为新松公司的核心业务之一,现已形成大气机械手、真空机械手、EFEM、真空平台、STOCKER和AMHS系统多个产品线。洁净产品客户现已遍及大陆以及台湾地区。新松本次参展的产品是真空机械手Pinus-B37及复合机器人。

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新松PINUS-B37 是全球领先的对称连杆型真空直驱机械手,由新松公司自主研发设计,采用磁流体密封、直驱电机密封等技术;带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能,易于操作,具有牵引示教功能;这些高灵活性,高稳定性的设计尤其适用于等离子刻蚀设备Etcher、物理气相沉积PVD、化学气象沉积CVD等工艺设备,尤其可以对应多腔室真空设备,能够满足满足IC产业自动化领域的传输需求。

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新松复合机器人基于移动机器人和工业机器人系统的创新融合,综合视觉补偿、力觉控制、碰撞保护和主动导航等技术,可快速布局自动化工厂,适应高柔性化生产模式,实现友好的人机协作功能,具有高效的智能物料配送方案。满足企业数字化工厂对生产设备的苛刻需求,主要应用于半导体封装测试环节,可满足FOUP,CST,MGZ在各机台间的自动运输,终端定位精度可达±0.05mm,CLASS 100洁净度,能为半导体生产应用提供最优的系统解决方案。