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真空机械手SRBZ820C-SMSX/G

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特征,耐高温、耐腐蚀,动态纠偏和碰撞保护功能。

简介

Introduction

机械手采用耐高温手指有隔热设计,可用于放置高温托盘,短时间耐高温300℃以上。指部、腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度,加大热阻。同时具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能,有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划,提高运动节拍,提高了用户产能。在半导体前道高端设备中广泛应用,推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。

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参数

Parameter

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