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真空机械手SRBZ820C-SMSX/G

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特征,耐高温、耐腐蚀,动态纠偏和碰撞保护功能。

简介

Introduction

机械手采用耐高温手指有隔热设计,可用于放置高温托盘,短时间耐高温300℃以上。指部、腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度,加大热阻。同时具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能,有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划,提高运动节拍,提高了用户产能。在半导体前道高端设备中广泛应用,推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。

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参数

Parameter


结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
密封方式Seal way磁流体密封Ferro-Fluidic Sealing
自由度数DOF2
负载Payload名称name托盘Tray
直径diameterΦ300mm
重量weight1.5kg

最大运动范围

Moving  Range
R轴(mm)R-Axis

立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820

Distance  from pillar center to  the moving objects  center of the biggest R-axis stretching is R820mm
θ轴(°)θ-Axis360

全行程最小时间

Minimum running time
R轴(s)R-Axis2.5
θ轴(s)θ-Axis3.5

重复定位精度

Repeatability
θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)

重量Weight

机械手本体Main-body41kg
控制器Controller15kg
耐真空度Base Pressure (Pa)10­-5Pa
漏率leak rate<1*10E-8Mbar*L/s
碰撞保护Collision Protect Function盘片和机械手无损伤Disc and robot without damage
隔热设计指部隔热块
承载温度300℃