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Pre-Aligner预对准机SALN-612A-2V

关键字导读: TRACK ETCH CVD PVD MOCVD

描述:定位精度高,对准速度快,网络化控制器,适用于Notch和Flat缺口类型,采用真空负压吸附。

简介

Introduction

晶圆预对准是晶圆搬运以及整个IC制造过程中的重要环节,晶圆的定位与识别都需要Pre-aligner的参与。晶圆预对准的目的是计算晶圆的偏心并找到其缺口,进而补偿其偏心并将缺口转至一预设方向,为下一步的晶圆识别或处理做好准备。新松Pre-Aligner具有定位精高、对准速度快等优点,大大缩短了晶圆的传输与处理时间,提高了晶圆的生产效率。


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参数

Parameter


自由度数DOFT,Z
传感器类型SensorCCD
晶圆尺寸Wafer Size200mm/300mm
缺口类型 TypeNotch/Flat

角度定位精度Precision  of angle

±2°

中心定位精度Precision  of center

±1mm
对准时间Position Time4S
洁净等级 Clean ClassClass  2

允许最大偏差

Maximum  mis-placement allowed
5mm
电源Power Supply24VDC/3A



Pre-Aligner图纸.PNG