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TTS-2000 SORTER

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:一体化程度高,自动化程度高,安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制,拥有新松自主研发的控制器,Aligner,方便在视窗观察的可拆卸单元门,易移动框架,带有隔离的风扇 过滤系统,可拆分的设备结构,从而保证设备洁净、可靠的运行……

简介

Introduction

SORTER是一个工厂材料传输设备,是一个与SEMI标准兼容的界面系统,可以手动或者配合AGV或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制,充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小,采用无X轴的双臂机械手,通过双轴复合运动实现取放片,极大的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构,保证内部空间洁净度能够满足iso class 1级别,保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护,从软件到硬件,多重保证晶圆传输过程中的安全,人员与设备的安全。


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参数

Parameter

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